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Kev tsim cov txheej txheem ntawm nyias zaj duab xis transistor (TFT)

Oct 19, 2017

Kev tsim cov txheej txheem ntawm TFT muab faib ua rau theem 6: kev ua yeeb yaj kiab, tu, yees duab, khaus, stripping thiab kuaj. Raws li pom hauv daim duab

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Zaj duab xis hardening txheej txheem

  Zaj duab xis txheej txheem yog hais txog kev ua yeeb yaj kiab ntawm iav (iav) los ntawm kev siv lub cev los yog tshuaj, xws li rooj vag electrode, Cov ntaub ntawv (Source / Drain) electrode, pixel electrode, insulating film, tiv thaiv yeeb yaj kiab thiab cov yeeb yaj kiab.

Cov ntaub ntawv siv (Hlau / lub qhov dej) electrode, electrode, pixel electrode yog cov khoom siv hlau (aluminium, chromium, molybdenum, ITO), siv Sputtering (sputtering) lub cev, thiab ces Target (tsuas yog hlau) thiab iav Plasma ), lub phiaj xwm lo rau ntawm iav. Plasma (ion cheeb tsam) yog cov pa roj tsis ua pa nruab nrab ntawm ob lub tshuab electrodes, uas yog siv los ua kom muaj siab muaj zog thiab ionize. Ionized tsis tuaj yeem hlab roj rau ntawm lub phiaj, thiab tom qab ntawd ces tshem tawm cov phiaj xwm tsiv mus rau iav rau daim nyias nyias

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Cov khoom siv hluav taws xob, cov yeeb yaj kiab, cov yeeb yaj kiab los ntawm cov yeeb tshuaj (PECVD Plasma Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), yog siv tom qab txhaj cov roj ntawm ob lub electrodes uas siv cov roj ntau zog los ntawm Plasma (plasma), zaj duab xis ntawm txoj kev

Txhim kho txheej txheem

Kev tu txheej txheem yog hais txog cov lus pib los yog txheej txheem ntawm iav los yog membrane qhov chaw muaj kuab paug, Tshem tawm ua ntej ua ntej, yog li kom tsis txhob muaj kev phom sij. Nws yog pab kom paub meej tias qhov ua tiav ntawm zaj duab xis thiab zaj duab xis. Chav tsev yog UV Tu Tsev, Txhuam Tsev Tu, Mega Sonic Chav, CJ (Cavitation Jet) Unit.

Diam duab txheej txheem

Cov Txheej Txheej Duab yog hais txog kev ua haujlwm ntawm daim npog ntsej muag uas yog siv los ua cov yeeb yaj kiab los ntawm qhov pom kev, thiab nws cov qauv siv los ntawm Lub Npog Ntshiab (PR), suav nrog PR txheej, raug thiab pom.

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Etching txheej txheem  

Txoj kev etching yog hais txog qhov kev xaiv ntawm kev tshem tawm cov yeeb yaj kiab ntawm cov duab (PR), uas yog xaiv tawm ntawm lub cev thiab cov tshuaj. Nws muaj ob txoj kev ntawm kev cuam tshuam: 1.Wet Etching yog qhov cuam tshuam ntawm cov khoom siv hlau (txhuas, chromium, ITO, molybdenum) los ntawm kev daws tshuaj; 2. Dhia Etching Etching SiNx, a-Si los ntawm Cov Ntshav Ntshav.

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Cov txheej txheem stripping

    Cov txheej txheem stripping xa mus rau tus txheej txheem kev tshem cov qauv (PR) sab laug tom qab txoj kev etching.

Qhov kev tsim nyog rau txoj kev tshem tawm cov membrane yog yuav tshem tag nrho cov PR, qhov qis dua ntawm daim nyias nyias yuav tsum tsis raug, tab sis tseem yuav tau tswj lub zog hauv lub cev tsis zoo rau lwm tus txheej txheem.


Nrhiav kom tau

Txoj kev ntsuam xyuas yog hais txog kev tshawb nrhiav / kev soj ntsuam ntawm cov txheej txheem, cov khoom tiav tiav, cov khoom zoo los txiav txim siab zoo thiab kev phem.